Вакуумная машына для нанясення пакрыццяў - гэта прылада, якая наносіць металічныя тонкія плёнкі на паверхню падкладкі. Яго асноўны прынцып працы падзелены на тры этапы: ачыстка, выпарэнне і асаджэнне.
1. Уборка
Перад асаджэннем з выпарвання неабходна ачысціць выпарную камеру. Паколькі на паверхні выпарнай камеры могуць быць аксіды, тлушч, пыл і іншыя рэчывы, гэта паўплывае на якасць плёнкі. Для ачысткі звычайна выкарыстоўваюцца хімічныя або фізічныя метады.
2. выпарэнне
Патрэбны матэрыял награваецца вышэй за тэмпературу плаўлення, так што ён утварае газападобныя малекулы. Затым малекулы газу выкідваюцца ў вакуумную камеру ў камеру выпарэння. Гэты працэс называецца выпарэннем. Тэмпература, ціск і хуткасць выпарэння ўплываюць на склад, структуру і ўласцівасці плёнкі.
3. Адклад
Газападобныя малекулы матэрыялу ў выпарнай камеры трапляюць у рэакцыйную камеру праз вакуумную трубу, рэагуюць з актыўным матэрыялам, а затым адкладаюць прадукт на паверхню падкладкі. Гэты працэс называецца седыментацыі. Тэмпература, ціск і хуткасць нанясення таксама ўплываюць на якасць і характарыстыкі плёнкі.
2. Ужыванне
Вакуумныя машыны для нанясення пакрыццяў шырока выкарыстоўваюцца ў матэрыялазнаўстве, оптыцы, электроніцы і іншых галінах.
1. Матэрыялазнаўства
Вакуумныя машыны для нанясення пакрыццяў могуць вырабляць тонкія плёнкі з розных металаў, сплаваў, аксідаў, сілікатаў і іншых матэрыялаў і шырока выкарыстоўваюцца ў пакрыццях, аптычных плёнках, аптычных назапашвальніках, дысплеях, транзістарах і іншых галінах.
2. Оптыка
Вакуумная машына для нанясення пакрыцця можа рыхтаваць плёнкі з металу і сплаваў з высокай адбівальнай здольнасцю і аптычныя плёнкі са спецыяльнымі функцыямі. Гэтыя плёнкі можна выкарыстоўваць у сонечных панэлях, высокаэфектыўных электронных мікраскопах, аэрагелях, датчыках УФ/ВК, аптычных фільтрах і ў іншых галінах.
3. Электроніка
Вакуумныя машыны для нанясення пакрыццяў могуць рыхтаваць нанаразмерныя электронныя матэрыялы і мікраэлектронныя прылады. Гэтыя плёнкі могуць быць выкарыстаны ў нанатранзістарах, магнітнай памяці, датчыках і іншых галінах.
Карацей кажучы, машына для вакуумнага пакрыцця можа не толькі рыхтаваць розныя тонкаплёнкавыя матэрыялы, але і рыхтаваць тонкія плёнкі са спецыяльнымі функцыямі па меры неабходнасці. У будучыні тэхналогія вакуумнага пакрыцця будзе больш шырока выкарыстоўвацца і прасоўвацца.
Час публікацыі: 12 сакавіка 2024 г